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產(chǎn)品名稱:HMDS涂膠烘箱(真空)

產(chǎn)品型號:BD/HMDS-6090

更新時間:2025-03-18

產(chǎn)品特點:HMDS真空涂膠烘箱主要用于半導體行業(yè),HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

BD/HMDS-6090HMDS涂膠烘箱(真空)的詳細資料:

    一、HMDS真空涂膠烘箱規(guī)格:

    型號:BD/HMDS-6090內(nèi)形尺寸:450×450×450

    型號:BD/HMDS-6210內(nèi)形尺寸:560×640×600

真空涂膠烘箱

    二、技術參數(shù):

    1、控溫范圍:RT+10~250℃

    2、溫度分辨率:0.1℃

    3、溫度波動度:±1℃

    4、達到真空度:小于133Pa

    5、真空度:100Pa~100000Pa

    6、定時范圍:1~9999min

    7、工作室材料:316L

    8、樣品架:2塊、3塊

    9、真空泵:4L/S

    10、電源電壓:220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

    11、總功率:3000W、4500W

    三、產(chǎn)品特點:

    1、外殼采用冷軋鋼板制造,表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防dan雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

    2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。

    3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

    四、HMDS預處理系統(tǒng)操作流程:

    1、首先確定烘箱工作溫度;

    2、預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分;

    3、再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應;

    4、當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。

    五、控制系統(tǒng):

    1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏,三菱PLC控制器;

    2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器,控溫精確可靠;

    六、保護系統(tǒng):

    1、漏電保護;

    2、超溫保護;

    3、缺液保護;

    七、設備使用條件:

    1、環(huán)境溫度:5℃~+28℃(24小時內(nèi)平均溫度≤28℃)

    2、環(huán)境濕度:≤85%R.H

    3、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風良好,機器放置前后左右各80公分不可放置東西;

    八、HMDS真空涂膠烘箱服務承諾:

    保修十八個月,免費送貨上門,在對該設備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場對相關技術人員免費做相應的操作培訓,人數(shù)不限。

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